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新款ULVAC愛發(fā)科 標準皮拉尼真空計設備
使用 安裝組件可無需支架直接搭載
標配熱傳感器
熱傳感器可以監(jiān)測真空泵溫度的異常上升，通知油量的減少和泵的異常。
內置油霧過濾器的大容量油箱
大容量油箱（油容量：23~30L）減少油的更換頻率。 油箱內置方便更換的盒式濾芯。
被油霧過濾器回收的油會自動回到泵內。 油凈化裝置去除混入的雜質。
特點
安裝方向自由
安裝方向沒有限制，擴展了設備設計的自由度。
搭載控制器
控制器安裝在主體上，有效地減少了布線并減小了排氣系統(tǒng)的尺寸。
高壓縮比?高排氣圧力
高壓縮比和高背壓操作使得輔助泵可以實現小型化。
三種法蘭可供選擇
VG、ICF、ISO-K三種類型的吸氣口法蘭可供選擇。
清潔真空
在運行時以及泵停止時，碳氫化合物的回流很少。
用途
分析設備、研究開發(fā)設備、實驗設備等的主排氣系統(tǒng)
蒸發(fā)設備、濺射設備等著排氣系統(tǒng)
H2、He等輕氣體主排氣系統(tǒng)
用于使低溫泵運轉。將壓縮后的氦氣送出冷凍機，冷卻從冷凍機回來的高溫氦氣，使之循環(huán)
傳感器規(guī)格：如果需要壓力
·空白計劃降低
·控制板空間節(jié)省
·配線簡化
確定子更換眼睛
燈絲采用耐腐蝕材料鉑
其中一個使用的測量組件（SP1：WP-01,02,03,16）稍后使用
可以輸出2個設定點
SP1：壓力為0至5 V輸出（非輸出）
電源電壓：24 VDC輸入
用于半導體?電子部件等各種制造設備的低真空領域的工藝控制
用于爐等各種工業(yè)設備的低真空領域的工藝控制
用于在線式?片葉式等工藝腔室多種的各種制造設備的低真空領域的工藝控制
| 類型 | 傳感器單元 |
| 模型 | SP1 |
| 兼容傳感器頭 | WP-01、WP-02、WP-03、WP-16 |
準確性 | ±15 %（51帕～760帕） |
| ±30 %（10帕～1000帕） | |
| ±50 %（0.4帕～3000帕） | |
| 工作溫度范圍 | 10～40℃ |
| 測量值輸出 | 非線性輸出：0至5VDC（最大10V） |
| 設定點 1/2 壓力設定調整監(jiān)視器 | 非線性輸出：0至5VDC（最大10V） |
| 控制輸出信號 | 開路集電極輸出，負邏輯 |
| 錯誤信號 | |
| 設定點 1/2 | |
| LED 顯示屏 | 電源、錯誤、設定點 1、設定點 2 |
| 電源電壓 | DC24V±2V, 90mA（最大） |
| 輸入/輸出連接器 | D-sub-15P（M2.6螺絲） |
| 重量 | 190g /0.41lb（不包括傳感器頭） |
標準配件 | 輸入/輸出連接器 1個 |
| 快速手冊 1本 |
IO和模擬GND與電源GND不隔離。
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